2-й Международный форум по электронно-лучевым технологиям для микроэлектроники

Научные направления

  1. Электронная и ионная литографии, наноструктурирование поверхности.
  2. Микросистемная техника. Сенсоры.
  3. Характеризация материалов и структур методами электронной микроскопии.
  4. Характеризация материалов и структур методами рентгеновской микроскопии.
  5. Сканирующая зондовая микроскопия, зондовая нанолитография и спектроскопия.
  6. Электронно-лучевые технологии: электронно-лучевая сварка, электронно-лучевая плавка, электронно-лучевая полировка поверхности.
  7. Новые материалы для микроэлектроники и медицины.

На площадках Форума будут представлены крупнейшие производители оборудования для микроэлектроники, проведены научно-практические мастер-классы для студентов и молодых ученых, организованы круглые столы для обсуждения иновационных проектов.
 

Важные даты:

Начало on-line регистрации - 15 марта 2017 г.

Окончание принятия тезисов - 28 апреля 2017 г.
 

Сайт конференции

Дата проведения конференции: 
пн, 09/10/2017 to чт, 12/10/2017
Последний день регистрации: 
пятница, 28 апреля, 2017
Место проведения: 
г. Москва, Зеленоград