Научные направления
- Электронная и ионная литографии, наноструктурирование поверхности.
- Микросистемная техника. Сенсоры.
- Характеризация материалов и структур методами электронной микроскопии.
- Характеризация материалов и структур методами рентгеновской микроскопии.
- Сканирующая зондовая микроскопия, зондовая нанолитография и спектроскопия.
- Электронно-лучевые технологии: электронно-лучевая сварка, электронно-лучевая плавка, электронно-лучевая полировка поверхности.
- Новые материалы для микроэлектроники и медицины.
На площадках Форума будут представлены крупнейшие производители оборудования для микроэлектроники, проведены научно-практические мастер-классы для студентов и молодых ученых, организованы круглые столы для обсуждения иновационных проектов.
Важные даты:
Начало on-line регистрации - 15 марта 2017 г.
Окончание принятия тезисов - 28 апреля 2017 г.
Дата проведения конференции:
пн, 09/10/2017 to чт, 12/10/2017
Последний день регистрации:
пятница, 28 апреля, 2017
Место проведения:
г. Москва, Зеленоград